IVT TDS Series là hệ thống phân tích giải hấp nhiệt (Thermal Desorption Spectroscopy) được thiết kế để xác định loại khí và lượng khí cực nhỏ thoát ra khỏi vật liệu khi gia nhiệt. Thay vì chỉ kiểm tra bề mặt, thiết bị giúp các bộ phận R&D và QC đánh giá sâu hơn những yếu tố có thể ảnh hưởng đến chất lượng wafer, màng mỏng, kim loại và vật liệu công nghệ cao.

IVT hiện cung cấp hai dòng chính. fTDS dành cho ngành bán dẫn, có thể đo trực tiếp wafer nguyên tấm đường kính tới 300 mm, với dải khối lượng 1–512 amu, gia nhiệt toàn phần tới 950 °C và gia nhiệt cục bộ tới 1.400 °C. Buồng đo đạt mức chân không dưới 5×10⁻⁹ mbar, giúp giảm khí nền và tăng khả năng phát hiện lượng tạp chất rất nhỏ. Toàn bộ quá trình từ nạp wafer, đo đến xử lý dữ liệu có thể được tự động hóa.

sTDS được phát triển cho thép, kim loại và các mẫu vật liệu nhỏ, đặc biệt phù hợp với việc phân tích định tính và định lượng hydro liên quan đến hiện tượng giòn hydro. Thiết bị hỗ trợ mẫu tới 20 × 20 × 3 mm, gia nhiệt hồng ngoại tới 1.400 °C và phân tích trong môi trường chân không siêu cao ở cấp 10⁻⁹ mbar.

Điểm đáng chú ý của IVT là thiết bị tích hợp đồng bộ gia nhiệt mẫu, hệ thống chân không siêu cao, phân tích khối lượng khí và thu thập dữ liệu. Nhờ đó, người dùng không phải tự kết hợp nhiều thiết bị riêng lẻ như đầu dò khí, hệ chân không và bộ gia nhiệt.

IVT cũng cung cấp dịch vụ phân tích mẫu TDS, cho phép khách hàng gửi mẫu thực tế để kiểm tra dữ liệu trước khi quyết định đầu tư thiết bị. Nhà sản xuất đã có dữ liệu đối chiếu với mẫu chuẩn NIST về hydro, hỗ trợ nâng cao độ tin cậy cho các ứng dụng phân tích định lượng.

Sản phẩm phù hợp với nhà máy bán dẫn, màn hình, thép và kim loại công nghệ cao, trung tâm R&D, viện nghiên cứu, trường đại học và phòng thí nghiệm kiểm định vật liệu có nhu cầu kiểm soát tạp chất, outgas hoặc hydro ở mức rất thấp.

IVT Co., Ltd. là doanh nghiệp công nghệ Hàn Quốc thành lập năm 2008, chuyên phát triển thiết bị chân không siêu cao, hệ thống phân tích TDS và thiết bị kiểm tra vật liệu cho ngành bán dẫn, màn hình và kim loại. IVT đã phát triển và cung cấp hệ thống TDS tự động cho Samsung Electronics từ năm 2010, đồng thời được lựa chọn làm nhà cung cấp cấp 1 của Samsung Electronics vào năm 2011. Công ty cũng tham gia các dự án phát triển và nội địa hóa thiết bị cùng Samsung Electronics, Viện Tiêu chuẩn và Khoa học Hàn Quốc (KRISS) và các tổ chức nghiên cứu công nghệ của Hàn Quốc. Bên cạnh năng lực sản xuất thiết bị, IVT còn cung cấp dịch vụ phân tích mẫu và hỗ trợ kỹ thuật chuyên sâu, đồng thời sở hữu ISO 45001:2018, chứng nhận an toàn KOSHA, bằng sáng chế và nhãn hiệu liên quan đến TDS.